卡套球阀

专为半导体、光伏等高纯流体系统设计，BA/EP级卡套球阀集成了BA（光亮退火）与EP（电解抛光）顶级表面处理工艺，为高纯气体、化学品及浆料提供高效、洁净、可靠的快速启闭控制。

阀门流道内壁经精密BA或EP处理，表面粗糙度Ra值低至0.20μm以下，形成镜面效果，有效防止介质残留与颗粒附着，确保超高纯度传输。采用双向密封结构，标配PTFE自润滑密封圈，配合精密加工球体，实现卓越密封性能，泄漏率低至1×10⁻⁹Pa·m³/s。

双卡套连接技术实现管道无焊接快速安装，稳固且密封性好，便于系统维护。关键部件采用316L等高等级不锈钢，耐腐蚀性强，可应对氢氟酸、氯气等强腐蚀介质，PTFE密封圈摩擦系数小，可承受数百万次开关循环。

该产品广泛应用于半导体制造、光伏、微电子及生物医药等领域的高纯流体控制系统，提供DN6至DN50等多种规格，支持手动、气动等多种驱动方式。