高纯级球阀

高纯级球阀是专为高纯度介质输送设计的精密阀门，采用316L VIM/VAR超低碳不锈钢或PFA/PTFE等惰性材料制造，经电解抛光（EP）处理使表面粗糙度≤Ra0.05μm，有效降低颗粒吸附与出气率，确保介质纯净度。其全通径球体结构实现零死角设计，配合金属波纹管或陶瓷密封技术，可在10⁻⁹ Torr级超高真空至10MPa高压环境下稳定运行，耐受强腐蚀性气体（如Cl₂、CF₄）及高温烘烤（≤250℃），广泛应用于半导体制造、生物制药等领域的超净流体控制。