波纹管截止阀
专为半导体、光伏等高科技行业的超高纯度管路设计,BA/EP级波纹管截止阀集成了顶尖的表面处理工艺与零泄漏密封技术,是高纯气体及特种化学品输送系统中的关键洁净控制元件。
阀门流道内壁经过光亮退火(BA)或电解抛光(EP)处理,表面粗糙度Ra值可低至0.20μm以下,形成镜面效果,有效防止介质残留与颗粒附着,确保流体传输的极致洁净。其核心采用金属波纹管密封结构,将阀杆与大气完全隔离,从根本上消除了阀杆处的泄漏风险,实现真正的“零泄漏”,特别适用于处理剧毒、易燃易爆的危险介质。
阀体与阀芯等关键部件选用316L等高等级不锈钢,具备卓越的耐腐蚀性,能够从容应对氢氟酸、氯气等强腐蚀性介质的侵蚀。同时,波纹管组件经过特殊抗疲劳处理,可承受数百万次的频繁开关循环,保障设备长期稳定运行。
该产品广泛应用于半导体制造的光刻、刻蚀、薄膜沉积工艺,以及光伏、微电子、生物医药等领域的高纯流体控制系统。提供DN15至DN200等多种规格,支持对焊、卡箍、VCR等多种连接方式,并可配备气动、电动等执行机构以满足不同自动化需求。