半导体蝶阀

半导体蝶阀专为半导体制造设计，通过旋转蝶板实现气体/液体快速开闭、流量调节与流向控制。其结构紧凑、响应快，采用不锈钢或PFA等耐腐蚀材料，配合电解抛光工艺，确保表面粗糙度低至Ra≤0.08μm，满足高洁净度要求。该阀门广泛应用于真空系统隔离、流体输送及CVD/PVD等工艺的流量控制，支持手动、气动、电动驱动，适配自动化产线需求。