首页标题    半导体阀门    超洁净阀门

超洁净阀门

超洁净阀门是半导体、光伏、生物制药等高污染控制要求行业的关键设备,其中EP级阀门通过电解抛光形成镜面级光滑表面(Ra≤0.15μm)和致密钝化膜,具备极低颗粒附着率与强耐腐蚀性,适用于半导体前道制程特气输送、生物制药无菌系统等直接接触高纯介质的场景;AP级阀门采用酸洗钝化工艺,表面粗糙度较高(Ra≤0.8μm)但成本更低,耐腐蚀性满足一般需求,常用于半导体辅助系统、光伏非关键流体输送等场景,两者通过性能与成本的差异化平衡,共同构建了高洁净流体输送的完整解决方案体系。

 

超洁净阀门1